На НПО «Луч» научились производить ценный фосфор

В НИИ НПО «Луч» заработало импортозамещающее производство особо чистых красного фосфора и оксихлорида фосфора.

Красный фосфор — это гранулированный сыпучий материал, оксихлорид фосфора получают в жидкой форме. Оба материала критически важны для производства миниатюрных электронных компонентов: чипов, транзисторов, диодов, интегральных схем. Производство организовали ученые «Луча» и «Гиредмета» в рамках программы Минпромторга «Развитие электронного машиностроения на период до 2030 года».

«Ранее Россия импортировала более 80 % материалов, которые нужны для выпуска чипов, — отметил директор по научным государственным программам компании «Росатом Наука» Иван Мазилин. — Современные требования к содержанию основного вещества красного фосфора для ионной имплантации — 99,9999 %. Производство красного фосфора такой чистоты организуется в России впервые».

Реализация проекта заняла два с половиной года. Комплект технологической документации подготовили специалисты «Гиредмета», участок с технологической линией организовали на площадке «Луча» в Подольске. Соединения фосфора вредны для человека, поэтому техпроцесс максимально автоматизирован.